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高速旋轉型無掩模激光直寫光刻機研制
信息來源: 發布時間: 2019年05月06日 【 】 【打印】 【關閉

     

報告人:白震(微納光電、直博五年級)導師:魏勁松研究員  

              

報告題目:高速旋轉型無掩模激光直寫光刻機研制    

      

報告時間:201958日下午13:50            

          

報告地點:溢智廳          

             

報告摘要:     

   研制了一種高速旋轉型極坐標激光直寫光刻系統,能夠保持超高刻寫速度的前提下,進行大面積任意圖形的刻寫,主要內容包括:設計了極坐標激光直寫系統的光路結構,硬件結構和軟件架構,設計了一套極坐標數據生成和傳輸系統,精密的離焦檢測系統,自動跟蹤聚焦系統,高速數據同步系統。本報告將介紹在極坐標激光直寫光刻系統研制過程中所做的一些工作,同時結合自身科研經歷,分享一些讀博期間的感悟。  

 

個人學習經歷:             

2010.09-2014.06  山東大學 學士學位   

2014.08-至今     中國科學院上海光學精密機械研究所 博士學位  

 

獲獎情況:

  1. 2016年度   中國科學院大學優秀學生干部
  2. 2016年度   第三屆上海市大學生先進材料創意大賽 三等獎
  3. 2017年度   中科院上海光機所優秀研究生獎學金 一等獎 
  4. 2018年度   中國科學院首屆“率先杯”優勝項目 

 

代表性論文:  

1. Zhen Bai, Jingsong Wei*. Focusing error detection based on astigmatic method with a double cylindrical lens group [J]. Optics & Laser Technology, 2018, 106: 145-151. 

2. Zhen Bai, Jingsong Wei*, Xin Liang, Kui Zhang, Tao Wei, Rui Wang . High-speed laser writing of arbitrary patterns in polar coordinate system[J]. Review of Scientific Instruments, 2016, 87(12): 125118. 

 

聯系方式:        

Email:[email protected] 

 
 
 

     

     


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